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詳情介紹：
半導(dǎo)體真空腔密封圈是一種專用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的高潔凈度硅橡膠密封材料，具有優(yōu)異的耐高低溫性、低壓縮長(zhǎng)久變形率和超高真空密封性能，可在-60℃至250℃溫度范圍內(nèi)長(zhǎng)期穩(wěn)定工作，短期耐溫可達(dá)300℃，滿足半導(dǎo)體設(shè)備高溫工藝需求，壓縮長(zhǎng)久變形率小于10%，適用于超高真空環(huán)境（≤1×10?12 Pa）。
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