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  • 產品名稱:湖北供應半導體真空腔密封圈

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半導體真空腔密封圈是一種專用于半導體制造設備的高潔凈度硅橡膠密封材料,具有優異的耐高低溫性、低壓縮長久變形率和超高真空密封性能,可在-60℃至250℃溫度范圍內長期穩定工作,短期耐溫可達300℃,滿足半導體設備高溫工藝需求,壓縮長久變形率小于10%,適用于超高真空環境(≤1×10?12 Pa)。
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